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自動(dòng)化晶圓定向檢測(cè)系統(tǒng)在線(xiàn)優(yōu)化晶圓對(duì)準(zhǔn)，大幅提升產(chǎn)能。在線(xiàn)式晶圓取向圖譜分析，符合晶圓廠(chǎng)標(biāo)準(zhǔn)。

晶錠自動(dòng)化單晶定向系統(tǒng)重塑晶錠研磨前處理工藝：自動(dòng)化、高精度、高效率。可使現(xiàn)有設(shè)備滿(mǎn)足 200 毫米及 300 毫米規(guī)格晶錠的高級(jí)外徑 / 缺口技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) 。

自動(dòng)化碳化硅晶錠粘接定向儀X 射線(xiàn)管與探測(cè)器固定不動(dòng)，只需單次測(cè)量周期，且無(wú)需單色儀。單次旋轉(zhuǎn)即可采集全定向測(cè)定所需全部數(shù)據(jù)。